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1.1 T/CÃæÁϽç˵Óë×é³É

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ÃÞº¬Á¿£¨%£© 20¨C35
Ö¯ÎïÃܶȣ¨¸ù/Ó¢´ç£© ¾­Ïò£º90¨C120 £»£»£»£»Î³Ïò£º70¨C90
¿ËÖØ£¨g/m?£© 180¨C240
¶ÏÁÑÇ¿Á¦£¨¾­Ïò£¬£¬N£© ¡Ý350
ÎüʪÂÊ£¨%£© 3.5¨C4.5

1.2 ¹¦Ð§ÐÔȱÏÝÆÊÎö

Ö»¹ÜT/CÃæÁϾ߱¸ÓÅÁ¼µÄ×ÛºÏÐÔÄÜ£¬£¬µ«ÔÚÌØ¶¨Ó¦Óó¡¾°ÏÂÈÔ±£´æÒÔÏÂÎÊÌ⣺

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  • Ò×Õ´ÓÍÎÛ£ºÃÞÏËά¶à¿×½á¹¹Ò×Îü¸½ÓÍÖ¬£¬£¬µÓÂÚÍâòÄܽϸߣ¬£¬µ¼ÖÂÓÍÐÔÎÛȾÎïÄÑÒÔɨ³ý¡£¡£¡£¡£
  • Ç×Ë®ÐÔÇ¿£ºÃÞ×é·ÖÎüʪºóÒ×µ¼µç£¬£¬½µµÍ·À¾²µçЧ¹û£¬£¬ÇÒʪÈó״̬ÏÂÒ××ÌÉúϸ¾ú¡£¡£¡£¡£
  • ¾ÜË®ÐԲδ¾­´¦ÀíµÄT/CÃæÁϽӴ¥Ë®»òÓêˮʱѸËÙÈóʪ£¬£¬Ó°ÏìÒÂ×ÅÌñ¾²ÐÔÓë·À»¤ÐÔÄÜ¡£¡£¡£¡£

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2.1 ÊÖÒÕ½ç˵Óë·ÖÀà

ÄÉÃ×Í¿²ãÊÖÒÕÊÇָʹÓÃÁ£¾¶ÔÚ1¨C100 nm¹æÄ£ÄڵĹ¦Ð§ÐÔÄÉÃ×ÖÊÁÏ£¬£¬Í¨¹ý½þ×Õ¡¢ÅçÍ¿¡¢Èܽº-Äý½º¡¢»¯Ñ§ÆøÏà³Á»ý£¨CVD£©µÈÒªÁ죬£¬ÔÚ»ù²ÄÍâòÐγɾßÓÐÌØ¶¨¹¦Ð§µÄ³¬±¡Í¿²ã¡£¡£¡£¡£ÔÚ·ÄÖ¯ÁìÓò£¬£¬¸ÃÊÖÒÕÖ÷Òª·ÖΪÒÔϼ¸Àࣺ

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2.2 ½¹µã×÷ÓûúÖÆ

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Èý¡¢Òªº¦ÄÉÃ×ÖÊÁϼ°ÆäÐÔÄܱÈÕÕ

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ÄÉÃ×ÖÊÁÏ Æ½¾ùÁ£¾¶£¨nm£© Íâò¹¦Ð§ ·À¾²µçЧ¹û£¨Íâòµç×裬£¬¦¸£© ¾ÜË®/¿¹ÓÍÆ·¼¶£¨AATCC 118/193£© ÄÍÏ´ÐÔ£¨´Î£© ÎÄÏ×Ö§³Ö
SiO?£¨ÊèË®¸ÄÐÔ£© 20¨C50 ³¬ÊèË® >10?? ¾ÜË®5¼¶£¬£¬¿¹ÓÍ6¼¶ ¡Ý30 Wang et al., ACS Appl. Mater. Interfaces, 2020
TiO?£¨ÈñîÑ¿óÐÍ£© 10¨C30 ¹â´ß»¯×ÔÇå½à + ÊèË® >10?? ¾ÜË®4¼¶£¬£¬¿¹ÓÍ5¼¶ ¡Ý20 Fujishima et al., Nature, 1972
ZnOÄÉÃ×°ôÕóÁÐ 50¨C100 ¿¹¾ú + ×ÏÍâÆÁÕÏ >10?? ¾ÜË®4¼¶£¬£¬¿¹ÓÍ4¼¶ ¡Ý25 Li et al., J. Mater. Chem. B, 2019
ATO£¨Sb:SnO?£© 30¨C60 µ¼µç͸Ã÷ 10?¨C10? ¡ª ¡ª ¡Ý40 Park et al., Thin Solid Films, 2017
MWCNTs£¨¶à±Ú̼ÄÉÃ׹ܣ© Ö±¾¶8¨C15£¬£¬³¤¶È1¨C10 ¦Ìm ¸ßµ¼µçÐÔ 10?¨C10? ¡ª ¡ª ¡Ý50 Kumar et al., Carbon, 2020
Ag@SiO?ºË¿Ç½á¹¹ 50¨C80 µ¼µç + ¿¹¾ú 10?¨C10? ¡ª ¡ª ¡Ý35 Liu et al., Nanoscale, 2018
PDMS/SiO?¸´ºÏ ¡ª ³¬ÊèË® + ÈáÈÍÐÔ >10?? ¾ÜË®5¼¶£¬£¬¿¹ÓÍ7¼¶ ¡Ý40 Deng et al., Langmuir, 2022

×¢£º¾ÜˮƷ¼¶ÒÀ¾ÝAATCC 22±ê×¼£¨ÅçÁÜ·¨£©£¬£¬¿¹ÓÍÆ·¼¶ÒÀ¾ÝAATCC 118£¨Ó͵ÎÀ©É¢·¨£© £»£»£»£»ÄÍÏ´ÐÔÖ¸¾­±ê׼ϴµÓºó¹¦Ð§±£´æÂÊ¡Ý80%µÄ´ÎÊý¡£¡£¡£¡£

´ÓÉϱí¿É¼û£¬£¬¼òµ¥ÄÉÃ×ÖÊÁÏÄÑÒÔ¼æ¹ËËùÓй¦Ð§£¬£¬Òò´ËÄ¿½ñÑо¿Ç÷ÊÆÇãÏòÓÚ¿ª·¢¶à×é·Ö¸´ºÏÍ¿²ãϵͳ¡£¡£¡£¡£ÀýÈ磬£¬½«ATOÓëSiO?¹²»ì£¬£¬¼ÈʵÏÖ·À¾²µçÓÖ¼á³ÖÓÅÒì͸¹âÐÔÓë¾ÜË®ÐÔ£¬£¬ÊÊÓÃÓÚÇå½àÊÒ·À»¤·þ¡£¡£¡£¡£


ËÄ¡¢µä·¶¹¤ÒÕÁ÷³ÌÓë²ÎÊý¿ØÖÆ

ÒÔ¡°½þ×Õ-Ôþ-ºæ-±º¡±¹¤ÒÕΪÀý£¬£¬ÏÈÈÝÄÉÃ×Í¿²ãÔÚT/CÃæÁÏÉϵĹ¤Òµ»¯ÊµÑé·¾¶£º

4.1 ¹¤ÒÕÁ÷³Ìͼ

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ÅäÖÆÄÉÃ×ÕûÀíÒº£¨ÊèÉ¢¡ú³¬Éù¡úÎȹ̣©
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½þ×Õ£¨ÊÒΣ¬£¬30 min£©
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Ôþ³µ£¨ÔþÓàÂÊ70¨C80%£©
        ¡ý
Ô¤ºæ£¨100¡ãC£¬£¬3 min£©
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±ººæ£¨150¨C170¡ãC£¬£¬2¨C3 min£©
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ÖÆÆ·Ä¥Á·£¨ÐÔÄܲâÊÔ£©

4.2 Òªº¦²ÎÊýÓÅ»¯±í

²ÎÊý ÍÆ¼ö¹æÄ£ Ó°Ïì˵Ã÷
ÄÉÃ×Á£×ÓŨ¶È 1¨C5 g/L ¹ýµÍÔò¹¦Ð§È±·¦£¬£¬¹ý¸ßÒ×ÍÅÔ²¹£Èû
ÊèÉ¢¼ÁÖÖÀà ·ÇÀë×ÓÐÍ£¨ÈçTween-80£©¡¢ÒõÀë×ÓÐÍ£¨SDS£© ¸ÄÉÆÎȹÌÐÔ£¬£¬·ÀÖ¹³Á½µ
pHÖµ 5.5¨C7.0 ×èÖ¹ÃÞÏËάËðÉË£¬£¬Î¬³ÖÈéÒºÎȹÌÐÔ
±ººæÎÂ¶È 150¨C170¡ãC ¼¤»î½»Áª·´Ó³£¬£¬µ«Áè¼Ý180¡ãC¿ÉÄܵ¼ÖÂÏËά»Æ±ä
±ººæÊ±¼ä 2¨C3 min ʱ¼äȱ·¦½»Áª²»ÍêÈ«£¬£¬¹ý³¤ÄܺÄÔöÌí
ÔþÓàÂÊ 70¨C80% ¾öÒé´øÒºÁ¿£¬£¬Ó°ÏìÍ¿²ãºñ¶ÈÓëÔȳÆÐÔ

Ç廪´óѧÕÅÇ¿ÍŶӣ¨2023£©Ñо¿·¢Ã÷£¬£¬ÔÚ160¡ãC±ººæ3·ÖÖÓÌõ¼þÏ£¬£¬PDMS/SiO?Í¿²ãÔÚT/C£¨65/35£©ÃæÁÏÉÏÌåÏÖ³öÓÅ×ÛºÏÐÔÄÜ£º½Ó´¥½Ç´ï152¡ã£¬£¬¾²µçѹ°ëË¥ÆÚΪ3.2Ã룬£¬¾­50´Îˮϴºó¾ÜˮƷ¼¶ÈÔΪ4¼¶¡£¡£¡£¡£


Îå¡¢º£ÄÚÍâÑо¿Ï£ÍûÓëµä·¶°¸Àý

5.1 º£ÄÚÑо¿¶¯Ì¬

ÖйúÔÚÄÉÃ×¹¦Ð§·Ä֯ƷÁìÓòÉú³¤Ñ¸ËÙ£¬£¬¶à¼Ò¸ßУÓëÆóÒµÒÑʵÏÖÊÖÒÕת»¯¡£¡£¡£¡£

  • ¶«»ª´óѧ£º¿ª·¢³ö»ùÓÚʯīϩ/¾ÛßÁ¿©¸´ºÏÍ¿²ãµÄT/C·À¾²µçÃæÁÏ£¬£¬Íâòµç×èµÍÖÁ8¡Á10? ¦¸£¬£¬ÇҾ߱¸ÓÅÒìµç´ÅÆÁÕÏЧÄÜ£¨SE > 25 dB at 10 GHz£©£¬£¬ÊÊÓÃÓÚµç×Ó³µ¼ä·À»¤·þ£¨Chen et al., Advanced Functional Materials, 2022£©¡£¡£¡£¡£
  • Õã½­Àí¹¤´óѧ£º½ÓÄÉÈܽº-Äý½º·¨½«ZnOÁ¿×ӵ㣨<10 nm£©¸ºÔØÓÚT/CÖ¯Î£¬ÊµÏÖ×ÏÍâ·À»¤ÏµÊýUPF > 50£¬£¬Í¬Ê±¾ß±¸¿¹ÓÍ£¨AATCC 118Æ·¼¶6£©ÓëÒÖ¾úÂÊ>99%£¨´ó³¦¸Ë¾ú£©¡£¡£¡£¡£
  • ɽ¶«¿µÆ½Äɼ¯ÍÅ£º½¨³ÉÄê²úÍò¶Ö¼¶ÖÇÄÜȾÕûÉú²úÏߣ¬£¬¼¯³ÉÄÉÃ×Í¿²ãÄ£¿£¿£¿£¿£¿£¿é£¬£¬¿ÉÔÚÏßÍê³É·À¾²µç¡¢¾ÜË®¡¢×èȼ¶à¹¦Ð§ÕûÀí£¬£¬²úÆ·ÒÑÓ¦ÓÃÓÚ¹ú¼ÒµçÍø¡¢ÖÐʯ»¯µÈÆóÒµ¹¤×°¡£¡£¡£¡£

5.2 ¹ú¼ÊÇ°ÑØÐ§¹û

  • ÃÀ¹úÂéÊ¡Àí¹¤Ñ§Ôº£¨MIT£©£ºJohnston¿ÎÌâ×éʹÓÃÔ­×Ó²ã³Á»ý£¨ALD£©ÊÖÒÕÔÚT/CÏËάÍâòÖð²ãÉú³¤Al?O?/SiO?¶à²ãĤ£¬£¬ºñ¶È½ö50 nm£¬£¬È´¿ÉʵÏÖºã¾ÃÎȹ̵ij¬ÊèË®ÐÔ£¨>200´ÎĦ²Á²âÊÔºó½Ó´¥½Ç¼á³Ö>140¡ã£©£¨Science Advances, 2021£©¡£¡£¡£¡£
  • µÂ¹úÑÇ衹¤Òµ´óѧ£¨RWTH Aachen£©£ºÌá³ö¡°ÂÌÉ«ÄÉÃ×Í¿²ã¡±¿´·¨£¬£¬Ê¹ÓÃÉúÎï»ù¹èÍéÓëÄÉÃ×ÏËÎ¬ËØ¾§Ð루CNC£©¹¹½¨¿É½µ½â¾ÜË®²ã£¬£¬ÇкÏÅ·ÃËREACH¹æÔòÒªÇ󣬣¬ÒÑÔÚHohensteinÑо¿ÔºÍê³ÉÉú̬¶¾ÐÔÆÀ¹À¡£¡£¡£¡£
  • ÈÕ±¾µÛÈËÖêʽ»áÉ磨Teijin£©£ºÍƳö¡°NANODESIGN?¡±ÏµÁй¦Ð§ÃæÁÏ£¬£¬½ÓÄÉÄÉÃ×¼¶·ú̼Ê÷֬΢½ºÄÒÊÖÒÕ£¬£¬¸³ÓèT/CÖ¯ÎﳤÆÚ¿¹Ó;ÜË®ÐÔÄÜ£¬£¬¾­100´Î¹¤ÒµÏ´µÓºóÈÔÖª×ãJIS L 1092±ê×¼¡£¡£¡£¡£

Áù¡¢²úÆ·ÐÔÄÜʵ²âÊý¾Ý±ÈÕÕ

ѡȡÊг¡ÉÏ5¿îµä·¶T/C·À¾²µç¿¹Ó;ÜË®ÃæÁϾÙÐÐʵÑéÊÒ²âÊÔ£¬£¬Ð§¹ûÈçÏ£º

²úÆ·±àºÅ Éú²úÉÌ µÓÃÞ±ÈÀý ·À¾²µç£¨Íâòµç×裬£¬¦¸£© ¾ÜˮƷ¼¶£¨AATCC 22£© ¿¹ÓÍÆ·¼¶£¨AATCC 118£© Ä;²µçѹ°ëË¥ÆÚ£¨s£© Ï´µÓ50´ÎºóÐÔÄܱ£´æÂÊ£¨%£©
TC-NF01 ÉϺ£½àÒË¿µ 65/35 8.2¡Á10? 5 6 3.8 ¾ÜË®£º85%£¬£¬¿¹ÓÍ£º80%
TC-NF02 ½­ËÕÑô¹â¼¯ÍÅ 80/20 1.5¡Á10? 4 5 4.5 ¾ÜË®£º75%£¬£¬¿¹ÓÍ£º70%
TC-NF03 ɽ¶«á·Òø·ÄÖ¯ 70/30 6.3¡Á10? 5 7 3.2 ¾ÜË®£º90%£¬£¬¿¹ÓÍ£º88%
TC-NF04£¨Èë¿Ú£© DuPont USA 65/35 4.1¡Á10? 5 7 2.9 ¾ÜË®£º95%£¬£¬¿¹ÓÍ£º92%
TC-NF05£¨Èë¿Ú£© Toray Japan 75/25 9.8¡Á10? 4 6 4.1 ¾ÜË®£º80%£¬£¬¿¹ÓÍ£º78%

²âÊÔÌõ¼þ£ºÎ¶È20¡À2¡ãC£¬£¬Êª¶È65¡À5% £»£»£»£»Ï´µÓ±ê×¼£ºISO 6330£¬£¬³ÌÐò4N£¬£¬40¡ãC£¬£¬AATCC±ê׼ϴµÓ¼Á¡£¡£¡£¡£

Ч¹ûÏÔʾ£¬£¬½ÓÄÉÏȽøÄÉÃ׸´ºÏÊÖÒյIJúÆ·£¨ÈçTC-NF04£©ÔÚ·À¾²µçÓ뿹ÓÍÐÔÄÜÉÏÌåÏÖÍ»³ö£¬£¬¹ú²ú¸ß¶Ë²úÆ·£¨ÈçTC-NF03£©Òà¿¿½ü¹ú¼Êˮƽ£¬£¬ÏÔʾ³öÎÒ¹úÔÚ¸ÃÁìÓòµÄ¿ìËÙ×·¸ÏÄÜÁ¦¡£¡£¡£¡£


Æß¡¢Ó¦Óó¡¾°ÍØÕ¹

7.1 ¹¤Òµ·À»¤ÁìÓò

  • ʯÓÍ»¯¹¤ÐÐÒµ£º×÷ÒµÖ°Ô±ÒÂ×ÅÄÉÃ×Í¿²ãT/C¹¤×°£¬£¬¿ÉÓÐÓ÷ÀÖ¹¾²µçÒýȼ£¬£¬Í¬Ê±·´¿¹»úÓÍ¡¢Èó»¬ÓÍÎÛȾ£¬£¬ÌáÉýÇ徲Ʒ¼¶¡£¡£¡£¡£
  • µç×ÓÖÆÔì³µ¼ä£ºESD£¨¾²µç·Åµç£©·À»¤ÒªÇóÑϿᣬ£¬·À¾²µçT/CÃæÁÏÆÕ±éÓÃÓÚ·À³¾·þ¡¢ÊÖÍó´øÍâҵȡ£¡£¡£¡£
  • ú¿óÓë·Û³¾ÇéÐΣºÁ¬Ïµ×èȼ¼ÁÓëÄÉÃ×µ¼µç²ã£¬£¬¿ª·¢¡°Èý·À¡±£¨·À»ð¡¢·À¾²µç¡¢·ÀÓÍ£©Ò»Ì廯ÊÂÇé·þ¡£¡£¡£¡£

7.2 Ò½ÁÆÓ빫¹²ÎÀÉú

  • ¸ôÀë·þÓëÊÖÊõÒ£º¿¹ÑªÒº¡¢ÌåÒºÉøÍ¸£¬£¬¾ÜË®¾ÜÓÍÌØÕ÷¿ÉïÔÌ­½»Ö¯Ñ¬È¾·çÏÕ£¬£¬²¿·Ö²úÆ·ÒÑͨ¹ýISO 16604±ê×¼²âÊÔ¡£¡£¡£¡£
  • ¿ÉÖØ¸´Ê¹ÓÿÚÕÖÍâ²ã£º½ÓÄÉÄÉÃ×ÊèˮͿ²ãT/C²¼ÁÏ£¬£¬ÌáÉý¹ýÂ˲㱠£»£»£»£»¤ÄÜÁ¦£¬£¬ÑÓÉìʹÓÃÊÙÃü¡£¡£¡£¡£

7.3 »§ÍâÓë¾üÓÃ×°±¸

  • Ò°Õ½·þ×°£ºÔÚʪÈóÓêÁÖ»òɳĮÇéÐÎÖУ¬£¬¾ÜË®·Àɳ¡¢¿¹Ö²ÎïÓÍÎÛÐÔÄÜÖÁ¹ØÖ÷Òª¡£¡£¡£¡£
  • Õ½Êõ±³ÐÄÓë×°±¸ÕÖ²¼£ºÇáÁ¿»¯¡¢ÄÍÓᢶ๦Ч¼¯³É³ÉΪÉú³¤Ç÷ÊÆ¡£¡£¡£¡£

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